സ്പെസിഫിക്കേഷൻ | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(എയർ ബെയറിംഗ് റെയിൽ) |
മോട്ടോർ തരം | ത്രീ-ഫേസ് ഇരുമ്പ് ഇല്ലാത്ത മോട്ടോർ | വോയ്സ് കോയിൽ മോട്ടോർ+ |
റെസലൂഷൻ | ഡിഫോൾട്ട് 100nm ഡിജിറ്റൽ അളവ് | 5nm വരെ 1vpp താഴേക്ക് |
മോട്ടോർ ത്രസ്റ്റ് | തുടർച്ചയായ 60N/പീക്ക് 210N | തുടർച്ചയായ 60N/പീക്ക് 210N |
കുറഞ്ഞ സ്റ്റെപ്പ് വലുപ്പം[nm] | 200nm | 100nm |
യാത്ര [മിമി] | 200×200 | 10 |
ആവർത്തനക്ഷമത [ഉം] | ± 0.3 | |
സ്ഥാന കൃത്യത [ഉം] | ±1 | ± 0.5 |
പരന്നത [ഉം] | 10um | 5um |
നേരായ [ഉം] | 1ഉം | 1ഉം |
പരമാവധി വേഗത [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
ലോഡ് കപ്പാസിറ്റി [കിലോ] | 5kg (ഇസഡ് അക്ഷം ന്യൂമാറ്റിക് കോൺസ്റ്റന്റ് ഫോഴ്സ് ബാലൻസ് വെയ്റ്റ്) |